摘要
藍(lán)寶石(α-Al?O?)是一種性能優(yōu)異的功能材料,具有高硬度、高熱導(dǎo)率、良好的化學(xué)穩(wěn)定性和光學(xué)透明性,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、光學(xué)窗口、激光器件等領(lǐng)域。本文詳細(xì)探討了藍(lán)寶石在不同晶向(如C向、M向、R向、A向等)下的熱膨脹系數(shù)(CTE)和熱導(dǎo)率(Thermal Conductivity)的變化規(guī)律,并分析其在不同應(yīng)用場(chǎng)景中的影響。此外,作為專業(yè)的藍(lán)寶石材料供應(yīng)商,我們可提供多種晶向(C、M、R、A、C偏A等)和尺寸(2寸至12寸)的藍(lán)寶石襯底,并可定制鍍膜(如增透膜)、光學(xué)元器件(藍(lán)寶石棒、柱等),滿足半導(dǎo)體、光學(xué)及科研領(lǐng)域的需求。
藍(lán)寶石的晶體結(jié)構(gòu)與各向異性
藍(lán)寶石(α-Al?O?)屬于六方晶系,具有各向異性,即其物理性質(zhì)(如熱膨脹系數(shù)、熱導(dǎo)率、硬度等)在不同晶向上存在差異。主要晶向包括:
· C向(0001):最常見,用于LED襯底、光學(xué)窗口等。
· A向(11-20):機(jī)械性能優(yōu)異,適用于高應(yīng)力環(huán)境。
· M向(10-10):常用于激光器、光學(xué)元件。
· R向(1-102):具有特殊的光學(xué)性能,適用于某些激光應(yīng)用。
由于晶體結(jié)構(gòu)的各向異性,藍(lán)寶石的熱膨脹系數(shù)和熱導(dǎo)率在不同晶向上表現(xiàn)不同,直接影響器件的熱穩(wěn)定性。
藍(lán)寶石的熱膨脹系數(shù)(CTE)
熱膨脹系數(shù)(Coefficient of Thermal Expansion, CTE)描述材料在溫度變化時(shí)的尺寸變化率。藍(lán)寶石的CTE在不同晶向上差異顯著:
晶向 | CTE(×10??/K,25-1000°C) |
C向(0001) | 平行c軸:~8.3,垂直c軸:~7.5 |
A向(11-20) | ~7.9 |
M向(10-10) | ~8.1 |
R向(1-102) | ~7.7 |
· C向藍(lán)寶石:在平行c軸方向(8.3×10??/K)比垂直c軸方向(7.5×10??/K)膨脹略大,可能導(dǎo)致異質(zhì)外延生長(zhǎng)(如GaN-on-Sapphire)時(shí)產(chǎn)生熱應(yīng)力。
· A向和M向:CTE接近,適用于需要高熱穩(wěn)定性的光學(xué)元件。
· R向:CTE較低,適用于高功率激光器,減少熱形變。
應(yīng)用影響:在LED外延生長(zhǎng)中,GaN與藍(lán)寶石襯底的CTE不匹配會(huì)導(dǎo)致翹曲和缺陷,因此需優(yōu)化晶向選擇(如C偏A向可降低應(yīng)力)。
藍(lán)寶石的熱導(dǎo)率(Thermal Conductivity)
熱導(dǎo)率衡量材料傳導(dǎo)熱量的能力,藍(lán)寶石的熱導(dǎo)率同樣具有各向異性:
晶向 | 熱導(dǎo)率(W/m·K) |
C向(0001) | 平行c軸:~35,垂直c軸:~25 |
A向(11-20) | ~30 |
M向(10-10) | ~28 |
R向(1-102) | ~32 |
· C向藍(lán)寶石:沿c軸熱導(dǎo)率最高(35 W/m·K),適用于高功率LED和激光器散熱。
· A向和R向:熱導(dǎo)率適中,適合光學(xué)窗口和激光基板。
· M向:熱導(dǎo)率略低,但機(jī)械強(qiáng)度高,適用于高應(yīng)力環(huán)境。
應(yīng)用影響:在半導(dǎo)體激光器中,高熱導(dǎo)率可有效降低熱阻,提高器件壽命。因此,C向藍(lán)寶石常用于高功率器件。
晶向選擇對(duì)器件性能的影響
· C向襯底:主流選擇,但CTE不匹配可能導(dǎo)致外延層應(yīng)力。
· C偏A向(如偏4°):可減少缺陷密度,提高LED發(fā)光效率。
· R向或A向:低CTE和高熱導(dǎo)率組合,減少熱形變,適用于高功率激光窗口。
· M向:機(jī)械強(qiáng)度高,耐高溫,適用于惡劣環(huán)境。
作為專業(yè)藍(lán)寶石供應(yīng)商,上海知明提供:
· 多種晶向:C、M、R、A、C偏A等,滿足不同熱學(xué)需求。
· 多種尺寸:2寸、3寸、4寸、6寸、8寸、12寸襯底。
· 定制加工:藍(lán)寶石光學(xué)窗口、藍(lán)寶石棒、藍(lán)寶石柱等。
· 鍍膜服務(wù):增透膜(AR)、高反射膜(HR)等,提升光學(xué)性能。
· 快速供貨:大量現(xiàn)貨,支持小批量定制。
結(jié)論
藍(lán)寶石的熱膨脹系數(shù)和熱導(dǎo)率具有明顯的各向異性,不同晶向適用于不同應(yīng)用場(chǎng)景:
· C向:高熱導(dǎo)率,適合LED和激光器。
· A向/M向:機(jī)械強(qiáng)度高,適合光學(xué)窗口。
· R向:低CTE,適合高功率激光器。
合理選擇晶向可優(yōu)化器件熱管理,提高性能和可靠性。上海知明提供全面的藍(lán)寶石材料解決方案,助力您的科研與產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
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